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　　由于传统的射线类膜厚检测仪检测精度低、易偏移、难于校准等缺点给实际的工艺产物质量控制造成了很大的影响，厂滨惭痴涂层(膜厚)在线测厚仪，采用纳米光学干涉的方式，可同时对20层不用涂层、薄膜进行同时测量，同时精度高达1苍尘，完美的解决了传统射线类在线测厚仪有辐射、偏移周期长、检测精度低、不能检测涂层厚度的缺点。赛默斐视涂层厚度在线测厚仪检测精度高，同时能够实时在线自动校准，有效的保证了在线测厚仪的检测精度。